雪花清洗机，又称干冰清洗机，是一种基于二氧化碳（CO₂）的清洗设备。它利用高压将液态二氧化碳转化为微小的雪花颗粒，并通过这些颗粒的高速冲击力对晶圆表面进行清洗。这种清洗方式结合了物理冲击和化学溶解的双重作用，能够高效地去除晶圆表面的油脂、颗粒、化学物质等污染物。

当-78摄氏度的干冰粒接触到晶圆表面后，会产生脆化爆炸现象，使污垢收缩及松脱。随后，干冰粒会瞬间气化并且膨胀800倍，产生强大的剥离力，将污垢快速、彻底地从晶圆表面脱落。整个过程既快速又高效，同时避免了传统清洗方法可能带来的表面损伤。

雪花清洗机的优势

高效清洁：雪花颗粒的高速冲击和低温效应，能够迅速而彻底地去除晶圆表面的污染物，显著提高清洗效率。这种高效的清洗能力不仅提升了芯片的质量，还降低了因污染物导致的缺陷率，从而提高了生产效率和良品率。

环保无污染：雪花清洗机使用的清洗介质为液态二氧化碳，清洗过程中不会产生有害的废液或废气，对环境无污染。同时，二氧化碳可以回收再利用，降低了能源消耗和运营成本。这种环保特性符合现代工业对可持续发展的要求，减少了企业的环保压力。

无损清洗：由于采用的是非接触式清洗方式，雪花清洗机避免了机械摩擦对晶圆表面可能造成的损伤，保证了晶圆的完整性和平整度。这对于提高芯片的生产效率和良品率具有重要意义。

高度自动化：雪花清洗机与现代半导体生产线高度集成，实现自动化清洗，提高了生产效率和稳定性。通过引入先进的传感器和控制系统，实现清洗过程的实时监测和精准控制，进一步提高了清洗效率和一致性。

雪花清洗机在晶圆制造中的应用

在晶圆制造过程中，从硅片切割、抛光到光刻、刻蚀等各个环节，都需要对晶圆表面进行严格的清洁处理。雪花清洗机凭借其精准的控制能力和高效的清洁效果，在这些环节中发挥着重要作用。

硅片预处理：在硅片切割和抛光后，使用雪花清洗机可以迅速去除表面的研磨料残留，为后续工艺提供干净的基础。

光刻前清洗：在光刻工艺前，晶圆表面必须保持绝对干净，以避免图案畸变或缺陷。雪花清洗机能够彻底清除表面污染物，确保光刻图案的精度和质量。

刻蚀后清洗：刻蚀过程中会产生大量的副产物和残留物，这些污染物如果不及时清除，会严重影响后续工艺。雪花清洗机能够深入刻蚀槽内部，彻底清除残留物，恢复晶圆表面的洁净度。